میکروسکوپ الکترونی روبشی

SEM  یا میکروسکوپ الکترونی روبشی یکی از مدرنترین و بهترین دستگاه های ساخته شده برای مطالعه و آنالیز مواد است. این دستگاه از سال 1965 بصورت تجاری عرضه شده و ساختار سطح مواد را به آسانی می توان با آن مطالعه نمود. نحوه کار این دستگاه بدین شرح است: پرتو الکترونی در نقطه ای به قطر حدودAْ100 متمرکز می شود و سطح را در یک راستا جارو می کند. الکترونهای گرفته شده از سطح جمع آوری شده و از یک الکترودالکترواستاتیکی به سینتیلاتور با یاس شده متمرکز می شوند. نور متصاعد شده به فتو مالتی پلایر برخورد کرده و سیگنال حاصل از طریق اسیلوسکوپ که  به همان ترتیب جارو می شود برای تشکیل تصویر بکار می رود. تصویر روی پرده اسیلوسکوپ شبیه تصویر نوری است و نمونه معمولاً باید بطرف کلکتور مایل شود(با زاویه ای کمتر از ْ30 ) تا تصویر مناسبی دیده شود.در SEM از الکترونهای برگشتی Back scattered یا الکترونهای ثانویه Secondry Electrons استفاده می شود. الکترونهای ثانویه که انرژی بسیار کمتری دارند در انحناها خم شده و توپوگرافی سطح Topographic centrast را بروز می دهند. شدت الکترونهای برگشتی متناسب با عدد اتمی است اما ک ...